ฝาครอบคลุมการไหลลามิเนอร์ที่บริสุทธิ์เป็นหน่วยทำความสะอาดอากาศที่สามารถให้สภาพแวดล้อมที่สะอาดในท้องถิ่นได้
Introduction detail:
Purified laminar flow cover is an air purification unit that provides a local clean environment. It can be flexibly installed above the process point where high cleanliness is required. It can be used alone or in combination to form a strip-shaped clean area.Purified laminar flow cover passes the air through a high-efficiency filter at a certain wind speed to form a uniform flow layer, so that the clean air is vertically unidirectional, thereby ensuring the cleanliness of the process area.
Features:
●The cabinet is made of high quality SUS304 stainless steel, which is easy to clean;
● Top air supply, high efficiency filter efficiency ≥99.99%@0.3um, the operating area purification level is higher than the room cleanliness;
● The inverter adjusts the wind speed ; the button controls the lighting and power.
Parameter:
|
Technical reference |
|
|
Material |
Stainless steel panel |
|
คุณสมบัติ |
Hanging type landing support type |
|
การใช้งาน |
Precision Machinery, Electronics, Pharmaceuticals, Food, Fine Chemicals Usage, purification |
|
Usage |
การทำความสะอาด |
|
Average wind speed |
0.25-0.45 เมตร / วินาที (ปรับได้) |
|
เสียงรบกวน |
≤62dB(A) |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
220V 50HZ |
|
Certification |
ISO9001:2008; เอสจีเอส |
ใช่— และพวกเขา’ re มากขึ้นที่ชอบ. แผงห้องสะอาดยาเพดานห้องสะอาดยา
ASML ระบุเงื่อนไขท้องถิ่น ISO ชั้น 3 (เทียบเท่ากับชั้น 100 ห้องสะอาดในเงื่อนไขเก่า Fed-Std-209E) โดยตรงรอบเครื่องสแกน’ คอลัมน์ออปติกและขั้นตอนตาราง โซนบริการเครื่องมือรอบๆ โดยทั่วไปจะต้องการ ISO Class 4 – 5 ในขณะที่อ่างทั่วไปอาจทำงานที่ ISO Class 7 (ห้องสะอาดชั้น 10000) การปฏิบัติตามกฎหมายอย่างเต็มที่ต้องการความดันที่จัดเก็บโซน การติดตามอนุภาคในเวลาจริง และเวลาการกู้คืนที่ได้รับการตรวจสอบภายใต้ 20 วินาทีหลั ได้รับการตรวจสอบตาม ISO 14644-3.การจัดประเภทห้องสะอาดคืออะไรที่จําเป็นสําหรับเครื่องมือ lithography EUV NA สูงของ ASML?
เปิดและใช้งานเป็นเวลา 20 นาทีอย่างน้อยก่อนใช้เพื่อสร้างรูปแบบการไหลของอากาศที่เหมาะสมและบรรลุระดับความสะอาดที่จําเป็น
พื้นที่ทำงานทํางานภายใต้ความดันลบเทียบกับพื้นที่พื้นหลัง ความสะอาดสถิตเท่ากับความสะอาดพื้นที่พื้นหลัง ปิดพอร์ตไอเสียเพื่อสร้างความดันบวกเพื่อให้บรรลุความสะอาดคงที่ชั้น A
การไหลของอากาศทิศเดียวปกป้องผลิตภัณฑ์จากการปนเปื้อน มาตรฐาน Clean laminar flow hood ให้การไหลแนวตั้งหรือแนวนอนสําหรับการทำงานบนม้านั่ง cleanroom Clean laminar flow hood รูปแบบรวมโดยตรงในการออกแบบสถานที่สำหรับสถานีถาวร สําหรับความต้องการที่ยืดหยุ่น cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้สามารถเคลื่อนย้ายผ่านพื้นที่ทำงานที่แตกต่างกัน หน่วยเหล่านี้รับประกันสภาพ ISO Class 5 โดยตรงบนพื้นผิวทํางาน เพื่อป้องกันการตั้งอนุภาค
การจัดการผงต้องการการจัดเก็บเพื่อปกป้องผู้ดําเนินการ ห้องน้ำหนักความดันลบ cleanroom ป้องกันการหนีฝุ่นโดยการรักษาความดันต่ำกว่าพื้นที่รอบๆ วัสดุเข้าผ่านกล่องผ่านห้องสะอาด เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของโซน ทั่วไป อุปกรณ์ห้องสะอาด ต้องเข้ากันได้กับสารทำความสะอาดที่ใช้ในโซนเหล่านี้ โปรโตคอลความปลอดภัยรับประกันว่าวัสดุอันตรายยังคงถูกติดในระหว่างกระบวนการชั่งน้ำหนักและการจ่าย
การป้องกันท้องถิ่นลดค่าใช้จ่ายโดยรวมของสถานที่ cleanroom อุปกรณ์สะอาดท้องถิ่น เป้าหมายสถานีงานเฉพาะอย่างมีประสิทธิภาพ หมวกการไหลลามิเนอร์ที่สะอาด ให้การไหลของอากาศทิศทางเดียวผ่านกระบวนการเปิด สําหรับการเคลื่อนย้าย cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้การวางตำแหน่งที่ยืดหยุ่นของโซนอากาศสะอาดที่ต้องมีสภาพฆ่าเชื้อชั่วคราวสําหรับการบำร
ระบบแบบโมดูลให้ความยืดหยุ่นและความเร็ว สามารถติดตั้ง Cleanroom Clean Booth ได้อย่างง่ายดาย การไหลของอากาศถูกขับเคลื่อนโดยกลไก Cleanroom Clean laminar flow hood การตรวจสอบกรองเป็นประจําเป็นสิ่งจำเป็น การใช้โครงสร้าง Clean Booth ทําให้สามารถปรับแต่งใหม่ได้อย่างรวดเร็วของสายการผลิตโดยไม่ต้องส่งผลต่อระดับการจัดประเภทความสะอาดอากาศที่กําหนดไ