รถไหลลามิเนอร์มือถือใช้เป็นหลักสําหรับการโอนวัสดุและอุปกรณ์ในกระบวนการที่ไม่ปลอดเชื้อ เพื่อให้แน่ใจว่า docking ไม่ปลอดเชื้อ มันส่งวัสดุหรืออุปกรณ์ไปยังพื้นที่ทํางานผ่านการไหลทิศทางเดียวแนวตั้งคลาส A สร้างความแตกต่างความดันบวกระหว่างใน
แนะนำผลิตภัณฑ์
รถไหลลามิเนอร์มือถือใช้เป็นหลักสําหรับการโอนวัสดุและอุปกรณ์ในกระบวนการที่ไม่ปลอดเชื้อ เพื่อให้แน่ใจว่า docking ไม่ปลอดเชื้อ มันส่งวัสดุหรืออุปกรณ์ไปยังพื้นที่ทํางานผ่านการไหลทิศเดียวในแนวตั้งคลาส A สร้างความแตกต่างของความดันบวกระหว่างภายในและภายนอก ดังนั้นปกป้องวัสดุหรืออุปกรณ์และป้องกันการมลพิ รถที่สะอาดมีแหล่งจ่ายไฟได้อย่างไม่หยุดหยุด และสามารถย้ายได้โดยไม่ต้องใช้สายไฟ
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
1. ทำจากแผ่นสแตนเลส 304 เป็นที่น่าพอใจทางความงามและง่ายต่อการทำความสะอาด
2. พร้อมเครื่องวัดลมความเร็วของพัดลมสามารถปรับได้โดยอัตโนมัติผ่านเครื่องวัดลมความเร็วเพื่อให้แน่ใจว่าความเร็วของลม 3 ภายในพื้นที่การทำงาน 3. อุปกรณ์ถูกล้อมรอบด้วยพาร์ติชั่นแก้วที่มีความร้อนซึ่งสามารถป้องกันการไหลของอากาศที่มีมลพิษภายนอกได้อย่างมีประสิทธิภาพ
4. พร้อมกับ UPS ความจุสูงที่กำหนดเองเพื่อให้แหล่งจ่ายไฟได้อย่างไม่ต่อเนื่องระบบสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องประมาณ 6 ชั่วโมงเมื่อชาร์จอย่างเต็ม
5. พร้อมล้อเงียบสงบที่มีคุณภาพสูงและมือจับดันดึงมันเป็นเรื่องง่ายและสะดวกในการย้าย
ใช่— และพวกเขา’ re มากขึ้นที่ชอบ. แผงห้องสะอาดยาเพดานห้องสะอาดยา
ASML ระบุเงื่อนไขท้องถิ่น ISO ชั้น 3 (เทียบเท่ากับชั้น 100 ห้องสะอาดในเงื่อนไขเก่า Fed-Std-209E) โดยตรงรอบเครื่องสแกน’ คอลัมน์ออปติกและขั้นตอนตาราง โซนบริการเครื่องมือรอบๆ โดยทั่วไปจะต้องการ ISO Class 4 – 5 ในขณะที่อ่างทั่วไปอาจทำงานที่ ISO Class 7 (ห้องสะอาดชั้น 10000) การปฏิบัติตามกฎหมายอย่างเต็มที่ต้องการความดันที่จัดเก็บโซน การติดตามอนุภาคในเวลาจริง และเวลาการกู้คืนที่ได้รับการตรวจสอบภายใต้ 20 วินาทีหลั ได้รับการตรวจสอบตาม ISO 14644-3.การจัดประเภทห้องสะอาดคืออะไรที่จําเป็นสําหรับเครื่องมือ lithography EUV NA สูงของ ASML?
เปิดและใช้งานเป็นเวลา 20 นาทีอย่างน้อยก่อนใช้เพื่อสร้างรูปแบบการไหลของอากาศที่เหมาะสมและบรรลุระดับความสะอาดที่จําเป็น
พื้นที่ทำงานทํางานภายใต้ความดันลบเทียบกับพื้นที่พื้นหลัง ความสะอาดสถิตเท่ากับความสะอาดพื้นที่พื้นหลัง ปิดพอร์ตไอเสียเพื่อสร้างความดันบวกเพื่อให้บรรลุความสะอาดคงที่ชั้น A
การไหลของอากาศทิศเดียวปกป้องผลิตภัณฑ์จากการปนเปื้อน มาตรฐาน Clean laminar flow hood ให้การไหลแนวตั้งหรือแนวนอนสําหรับการทำงานบนม้านั่ง cleanroom Clean laminar flow hood รูปแบบรวมโดยตรงในการออกแบบสถานที่สำหรับสถานีถาวร สําหรับความต้องการที่ยืดหยุ่น cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้สามารถเคลื่อนย้ายผ่านพื้นที่ทำงานที่แตกต่างกัน หน่วยเหล่านี้รับประกันสภาพ ISO Class 5 โดยตรงบนพื้นผิวทํางาน เพื่อป้องกันการตั้งอนุภาค
การจัดการผงต้องการการจัดเก็บเพื่อปกป้องผู้ดําเนินการ ห้องน้ำหนักความดันลบ cleanroom ป้องกันการหนีฝุ่นโดยการรักษาความดันต่ำกว่าพื้นที่รอบๆ วัสดุเข้าผ่านกล่องผ่านห้องสะอาด เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของโซน ทั่วไป อุปกรณ์ห้องสะอาด ต้องเข้ากันได้กับสารทำความสะอาดที่ใช้ในโซนเหล่านี้ โปรโตคอลความปลอดภัยรับประกันว่าวัสดุอันตรายยังคงถูกติดในระหว่างกระบวนการชั่งน้ำหนักและการจ่าย
การป้องกันท้องถิ่นลดค่าใช้จ่ายโดยรวมของสถานที่ cleanroom อุปกรณ์สะอาดท้องถิ่น เป้าหมายสถานีงานเฉพาะอย่างมีประสิทธิภาพ หมวกการไหลลามิเนอร์ที่สะอาด ให้การไหลของอากาศทิศทางเดียวผ่านกระบวนการเปิด สําหรับการเคลื่อนย้าย cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้การวางตำแหน่งที่ยืดหยุ่นของโซนอากาศสะอาดที่ต้องมีสภาพฆ่าเชื้อชั่วคราวสําหรับการบำร
ระบบแบบโมดูลให้ความยืดหยุ่นและความเร็ว สามารถติดตั้ง Cleanroom Clean Booth ได้อย่างง่ายดาย การไหลของอากาศถูกขับเคลื่อนโดยกลไก Cleanroom Clean laminar flow hood การตรวจสอบกรองเป็นประจําเป็นสิ่งจำเป็น การใช้โครงสร้าง Clean Booth ทําให้สามารถปรับแต่งใหม่ได้อย่างรวดเร็วของสายการผลิตโดยไม่ต้องส่งผลต่อระดับการจัดประเภทความสะอาดอากาศที่กําหนดไ