หมวกการไหลลามิเนอร์ที่สะอาดให้การไหลของอากาศที่บริสุทธิ์ในท้องถิ่นเหนือจุดกระบวนการที่มีความสะอาดสูงด้วยการติดตั้งที่ยืดหยุ่
รายละเอียดการแนะนำ:
ฝาครอบคลุมการไหล laminar ที่บริสุทธิ์ เป็นหน่วยฟอกอากาศที่ให้สภาพแวดล้อมที่สะอาดท้องถิ่น สามารถติดตั้งได้อย่างยืดหยุ่นเหนือจุดกระบวนการที่จําเป็นความสะอาดสูง สามารถใช้เป็นเดียวหรือร่วมกันเพื่อสร้างพื้นที่สะอาดรูปร่างแถบ ฝาครอบคลุมการไหลลามิเนอร์ที่บริสุทธิ์ผ่านอากาศผ่านตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงที่ความเร็วลมที่แน่นอนเพื่อสร้างชั้นการไหลที่สม่ำเสมอ เพื่อให้อากาศที่สะอาดเป็นแนวตั้งเดี
คุณสมบัติ:
● ตู้ทำจากสแตนเลสคุณภาพสูง SUS304 ซึ่งทำความสะอาดได้ง่าย
● การจ่ายอากาศด้านบนประสิทธิภาพการกรองที่มีประสิทธิภาพสูง ≥ 99.99% @ 0.3um ระดับการทำความสะอาดพื้นที่ทํางานสูงกว่าความสะอาดห้อง
● อินเวอร์เตอร์ปรับ ความเร็วลม; ปุ่มควบคุมแสงและพลังงาน
พารามิเตอร์:
|
อ้างอิงทางเทคนิค |
|
|
วัสดุ |
Sแผงเหล็ก tainless |
|
คุณสมบัติ |
Hประเภท anging ประเภทการสนับสนุนการลงจอด |
|
การใช้งาน |
ความแม่นยำ เครื่องจักร อิเล็กทรอนิกส์ ยา อาหาร เคมีละเอียด การใช้งาน, การทำความสะอาด |
|
การใช้งาน |
การทำความสะอาด |
|
ความเร็วลมเฉลี่ย |
0.25-0.45 เมตร / วินาที (ปรับได้) |
|
เสียงรบกวน |
&ล่ะ; 62dB (A) |
|
แหล่งจ่ายไฟ |
220V และnbsp; 50 เฮอร์ตซ์ |
|
การรับรอง |
ISO9001:2008; เอสจีเอส |
ใช่— และพวกเขา’ re มากขึ้นที่ชอบ. แผงห้องสะอาดยาเพดานห้องสะอาดยา
ASML ระบุเงื่อนไข ISO ท้องถิ่นชั้น 3 (เทียบเท่ากับชั้น 100 ห้องสะอาดในเงื่อนไข Fed-Std-209E เก่า) โดยตรงรอบเครื่องสแกน’ คอลัมน์แสงและขั้นตอนตาราง โซนบริการเครื่องมือรอบๆ โดยทั่วไปจะต้องการ ISO Class 4 – 5 ในขณะที่อ่างทั่วไปอาจทำงานที่ ISO Class 7 (ห้องสะอาดชั้น 10000) การปฏิบัติตามกฎหมายอย่างเต็มที่ต้องการความดันที่จัดเก็บโซน การติดตามอนุภาคในเวลาจริง และเวลาการกู้คืนที่ได้รับการตรวจสอบภายใต้ 20 วินาทีหลั ได้รับการตรวจสอบตาม ISO 14644-3.การจัดประเภทห้องสะอาดคืออะไรที่จําเป็นสําหรับเครื่องมือ lithography EUV NA สูงของ ASML?
เปิดและใช้งานเป็นเวลา 20 นาทีอย่างน้อยก่อนใช้เพื่อสร้างรูปแบบการไหลของอากาศที่เหมาะสมและบรรลุระดับความสะอาดที่จําเป็น
พื้นที่ทำงานทํางานภายใต้ความดันลบเทียบกับพื้นที่พื้นหลัง ความสะอาดสถิตเท่ากับความสะอาดพื้นที่พื้นหลัง ปิดพอร์ตไอเสียเพื่อสร้างความดันบวกเพื่อให้บรรลุความสะอาดคงที่ชั้น A
การไหลของอากาศทิศเดียวปกป้องผลิตภัณฑ์จากการปนเปื้อน มาตรฐาน Clean laminar flow hood ให้การไหลแนวตั้งหรือแนวนอนสําหรับการทำงานบนม้านั่ง cleanroom Clean laminar flow hood รูปแบบรวมโดยตรงในการออกแบบสถานที่สำหรับสถานีถาวร สําหรับความต้องการที่ยืดหยุ่น cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้สามารถเคลื่อนย้ายผ่านพื้นที่ทำงานที่แตกต่างกัน หน่วยเหล่านี้รับประกันสภาพ ISO Class 5 โดยตรงบนพื้นผิวทํางาน เพื่อป้องกันการตั้งอนุภาค
การจัดการผงต้องการการจัดเก็บเพื่อปกป้องผู้ดําเนินการ ห้องน้ำหนักความดันลบ cleanroom ป้องกันการหนีฝุ่นโดยการรักษาความดันต่ำกว่าพื้นที่รอบๆ วัสดุเข้าผ่านกล่องผ่านห้องสะอาด เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของโซน ทั่วไป อุปกรณ์ห้องสะอาด ต้องเข้ากันได้กับสารทำความสะอาดที่ใช้ในโซนเหล่านี้ โปรโตคอลความปลอดภัยรับประกันว่าวัสดุอันตรายยังคงถูกติดในระหว่างกระบวนการชั่งน้ำหนักและการจ่าย
การป้องกันท้องถิ่นลดค่าใช้จ่ายโดยรวมของสถานที่ cleanroom อุปกรณ์สะอาดท้องถิ่น เป้าหมายสถานีงานเฉพาะอย่างมีประสิทธิภาพ หมวกการไหลลามิเนอร์ที่สะอาด ให้การไหลของอากาศทิศทางเดียวผ่านกระบวนการเปิด สําหรับการเคลื่อนย้าย cleanroom Moving Laminar Hood Vehicle ทําให้การวางตำแหน่งที่ยืดหยุ่นของโซนอากาศสะอาดที่ต้องมีสภาพฆ่าเชื้อชั่วคราวสําหรับการบำร
ระบบแบบโมดูลให้ความยืดหยุ่นและความเร็ว สามารถติดตั้ง Cleanroom Clean Booth ได้อย่างง่ายดาย การไหลของอากาศถูกขับเคลื่อนโดยกลไก Cleanroom Clean laminar flow hood การตรวจสอบกรองเป็นประจําเป็นสิ่งจำเป็น การใช้โครงสร้าง Clean Booth ทําให้สามารถปรับแต่งใหม่ได้อย่างรวดเร็วของสายการผลิตโดยไม่ต้องส่งผลต่อระดับการจัดประเภทความสะอาดอากาศที่กําหนดไ